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石英深加工:石英坩埚外形尺寸的确立

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石英深加工:石英坩埚外形尺寸的确立

發布日期:2019-04-10 00:00 來源:http://www.railsbricks.net 點擊:

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石英坩埚尺寸大小(或容積大小)的确定取決于晶體生長的直徑和長度,同時還要考慮拉晶工藝中對埚、晶直徑比的要求。一般竭、晶直徑比以3:1為佳。石英深加工

1.其理由是它與熔液直接接觸,熔矽與石英坩埚的sio:反應生成sio後,它同時向熔體内部擴散和向熔體表面揮發。

最後有一部分到達固一液界面附近,混入到正在生長的晶體中去,從而使單晶體中的氧含量增高。低溫水槽采取較大的渦、晶直徑比,将有利于氧的大量揮發。

2.因此當拉制直徑為8 0mrn、長度為7. 000mm矽單晶時,我們确定增渦的直徑為中224mm,高度為190mm.根據石英的機械性質川:抗壓強度為8004一8500 (WC kg/cm2),抗拆強度為710一1040(200C kg/cm‘),石英坩埚抗彎強度為700一1100 (200C kg/cml),抗扭強度為304一600 (20cc kg/cml),為此,我們選擇柑im的厚度為4mm,這樣就能承受住12Kg以上的Si料。

3.同時為了使單晶生長到達底部時,仍能保持其原有的竭、晶直徑比(3:I)和盡量減少坩埚中剩料,以提高單晶的成品率和回收率,為此确定使用平底柑塌。石英坩埚外形尺寸和形狀如圖I所示。若采用球底琳A,則在保證竭、晶直徑比(3:1)的情況下,其竭内剩料将超過平底琳禍的剩料,顯然,不利于提高單晶的成品率和回收率。


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